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結晶薄膜X線回折装置(封入管)

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機器名称

　結晶薄膜X線回折装置(封入管)

設置場所

　小金井キャンパス5号館1階 学術研究支援総合センター 機器分析施設 機器室6［施設内マップ］

機器の概要（機器の性能など）

　本システム（スペクトリス株式会社：X’Pert-MRD）は薄膜結晶の多岐にわたるX線解析を１台のシステムで可能にした装置で、ロッキングカーブ測定、逆格子空間マッピング測定、結晶配向測定（極点図）、X線反射測定を高い再現性で精度良く行うことが可能です。これは各測定毎の光学系の切り替えにおいてX線入射部、受光部がモジュール化されており、簡単にしかも調整なしに交換可能である本システムの特徴によります。またこれらの測定を温度?雰囲気制御可能なステージ上で行える所もこれまでのX線回折装置に無いおおきな特徴です。

機器の構成、型式等

　本システムはX線高圧発生器、クレードルを含む本体と制御用PCおよび冷却水循環装置（屋外設置）からなる。X線管球は最大出力3kWで、測定方法に応じてポイントフォーカスおよびラインフォーカスの切り替えが可能である。モジュールの組み合わせにより、光学系の最高分解能はビーム半値幅12 secに達し、ゴニオメータの精度はq, 2qでそれぞれ0.0001oである。

型式　スペクトリス株式会社　X’Pert-MRD

測定、利用対象となる試料名、または研究例

　単結晶基板上に成長（堆積）された高結晶性の単結晶薄膜

過去の主な研究例

  1. 砒化ガリウム単結晶基板上の窒化ガリウム単結晶膜の構造解析
  2. サファイア基板上に気相成長された窒化インジウム単結晶薄膜の構造解析
  3. サファイア基板上に気相成長された窒化アルミニウム単結晶膜の構造解析
  4. 窒化アルミニウム?ガリウム混晶の構造?混晶組成解析
  5. 亜鉛系酸化物単結晶薄膜の構造解析
  6. 燐化ガリウム基板上に成長した磁性体MnGeP2単結晶薄膜の構造解析
  7. 砒化ガリウム量子ドットの構造解析

利用方法

1.利用方法

　装置の使用を希望される方は、下記問い合わせ先までご連絡下さい。使用するためには、毎年４月に開催される利用者講習の受講が必須です。また、Ｘ線作業従事者未登録者や特別健康診断未受診者は装置を使用することは出来ません。

2.利用料金

　装置の定期保守?点検および不定期の修理に要した費用を、年度末に使用時間の比率に応じて請求させていただきます。通常の単結晶薄膜であれば、１サンプル半日で測定できます。

お問い合わせ窓口

共生科学技術研究院応用化学部門　熊谷義直
［内線］7469
［MAIL］4470kuma@cc.jskrtf.com
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